芯源微接受机构调研时表示，此前公司首台浸没式高产能涂胶显影机顺利运付客户现场，并完成了各项工艺验证及光刻机联机产能验证。机台与国际主流光刻机联机作业，完成了客户端十余款光阻、多层layer量产验证，数据均达到客户量产指标。浸没式高产能涂胶显影机的发布，标志着公司在前道涂胶显影领域实现了对28nm及以 […]

芯源微业绩快报，2022年度净利润1.97亿元，同比增长155.31%。

芯源微公告，沈阳先进制造技术产业有限公司、宗润福、李风莉、顾永田、陈兴隆拟询价转让合计4.85%公司股份。

芯源微：公司定于2022年12月17日上午10:30召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会，本次发布的产品为公司最新的前道浸没式高产能涂胶显影机。该款机型通过选配可全面覆盖I-line、KrF、ArF dry、ArF浸没式等多种光刻技术，也适用包括SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类应用。