至纯科技接受调研时表示，2022年炉管和涂胶显影设备有超过八千万元的订单，今年的订单规划我们会在年报中披露。2022年都是8寸的设备。目前8寸炉管已有重复订单；12寸的炉管设备，今年一季度会送到客户端去做验证，主要类型是ALD Nitride。涂胶显影设备今年8寸设备验证并交付；12寸设备我们已经完 […]

至纯科技在互动平台表示，公司三季度半导体设备的产能正在按今年的扩产计划逐步提高中，预计年底产能可达150台。晶圆再生业务今年度将产生部分收入。