投资要点：
事件：公司发布2023 年年报，符合预期。20223 公司营收62.6 亿，同比增长32.2%；毛利率45.83%，同比增长0.09pct；扣非归母净利润11.9 亿，同比增长29.6%；归母净利润17.9 亿，同比增长52.7%。其中，4Q23 单季营收22.2 亿，同比增长31.0%；扣非归母净利润4.58 亿，同比增长66.1%；归母净利润6.26 亿，同比增长66.1%。
刻蚀设备2023 年新签订单高增60%，占整体签单超过8 成。2023 年公司新增订单83.6亿，同比增长32.3%，其中刻蚀设备全年新增订单69.5 亿，同比增长60.1%，占公司整体新增订单83%，较2022 年上升14pcts。公司CCP 及ICP 刻蚀设备市占率同步明显提升，TSV 硅通孔刻蚀设备在先进封装等领域需求快速放大。
刻蚀设备工艺覆盖率接近100%，放眼全球市场。根据公司公开业绩说明会，公司2023年CCP 工艺覆盖率达到94%（56%已量产、38%已验证），ICP 工艺覆盖率达到95%（45%已量产、50%已验证）。公司深硅刻蚀机已进入欧洲MEMS 生产线量产，CCP 刻蚀机30个反应台正付运到美国Arizona Fab，在国际先进晶圆厂产线已有超过590 台反应台（其中超270 台对应5nm 及以下制程）运行。公司在工艺、制程覆盖度方面逐步追赶海外大厂，同时性价比具备相对优势，未来有望争夺全球市场份额。
薄膜沉积设备订单预将逐步起量，市场覆盖度持续增加。公司2023 年LPCVD、ALD 设备四款进入市场，三款已获客户认证取得重复订单。当前公司薄膜沉积设备覆盖度已经达到约3 成，公司计划在2024 年推出硅和锗硅外延EPI 设备等超过10 款新型薄膜沉积设备。
根据Gartner，2023 年全球薄膜沉积设备市场规模184 亿美元，ALD、LPCVD 市场规模分别占薄膜沉积整体的16%、8%，空间广阔。
投资分析意见：上调归母净利润预测，维持“买入”评级。考虑到下游存储厂快速扩产，同时公司CCP、ICP 刻蚀设备国产化率同步大幅提升，薄膜沉积设备验证推进顺利，上调公司2024-2025 年盈利预测，并新增2026 年盈利预测。预计公司2024~2026 年营业收入分别为82.9、116.3、150.2 亿（原预测2024~2025 年82.4、103.5 亿），同比增速分别为32.3%、40.3%、29.2%；预计公司2024~2025 年归母净利润分别为20.2、26.9、34.8 亿（原预测2024~2025 年18.1、21.8 亿），同比增速分别为12.9%、33.6%、29.2%，对应动态市盈率分别为48、36、28 倍。
风险提示：需求低于预期影响晶圆厂扩产节奏；设备验证结果不达预期；原材料采购周期延长风险。