芯源微：浸没式高产能涂胶显影机数据均达客户量产指标

芯源微接受机构调研时表示，此前公司首台浸没式高产能涂胶显影机顺利运付客户现场，并完成了各项工艺验证及光刻机联机产能验证。机台与国际主流光刻机联机作业，完成了客户端十余款光阻、多层layer量产验证，数据均达到客户量产指标。浸没式高产能涂胶显影机的发布，标志着公司在前道涂胶显影领域实现了对28nm及以上所有工艺节点的全覆盖，即可实现全面国产替代。